为了因应更高速、高效能的晶片技术,半导体制程的线宽技术不断演进到奈米等级,因此必须提供单位时间内更大量的产出与较短的生产周期。在半导体后端制程中,将多个制程整合成为单一机台,简化制程产线的机台种类以大幅缩短制程的周期。在有限的空间内,机台的体积并未因整合的特性而被允许增加,所以控制系统的配置是一个必须考量的重点,透过EtherCAT分散式控制系统,高性能、低成本、应用简易、拓扑灵活的工业乙太网技术等优点,缩短现场布线的时间并简化其配线方式以利后续的维护工作。
EtherCAT工业控制自动化乙太网路技术
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