MEMS加速度感测器(又称加速度计或g-sensor)因任天堂的Wii游戏机而一炮而红,造成市场上对这颗小小元件的浓厚兴趣。透过手持遥控器的动作就能完成各种操作目的,加速度计的导入确实开创了新兴的使用者介面(UI)模式,而这种直观性的操作介面,对于手持式设备或电视遥控器也相当具有吸引力。
MEMS加速度计早在1970年代中即已问世,目前最大宗的应用领域为汽车市场,主要的用途包括安全气囊(Airbag)、防锁死系统(ABS)、牵引控制系统等等;随著成本的降低与尺寸的缩小,加速度计也开始被导入消费性的大众市场。不过,加速度计只是MEMS运动感测器(也称惯性感测器)的一种,它的功能是用来量测运动体的加速度(也就是速度变化的快慢);若要量测转动的角速度(角度变化的快慢),那就得用到陀螺仪(Gyrometer, 简称Gyro);如果要知道高度变化,需要使用气压计;若要知道绝对方向,就得使用电子罗盘(e-compass)。
目前较受重视的运动感测器当属加速度计和陀螺仪,而陀螺仪的开发其实早于加速度计,但因设计结构较为复杂,元件单价始终偏高,在市场上的普及程度反而不如加速度计。不过,陀螺仪的用途仍然很广,而结合两者,举凡因坠落、倾斜、移动、转动、撞击或振动所产生剧烈或微小变化,都能够被侦测出来。本文将介绍这两类明星元件的技术现况与系统设计要领。
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