所谓low-k(低介电常数值)就是指介电常数(dielectric constant)比较小的材料,因为这种材料允许芯片内的金属导线可以互相紧密地贴近,而且在芯片内,不会发生讯号泄漏和干扰的问题。电路传输的速率是和电阻(R)和电容(C)的乘积有关,RC乘积值愈小,则传输速率就愈快。因此,降低电阻和电容值就可以提高传输速率。电容值又与芯片内金属线之间的绝缘介电质材料的介电常数k有关,k愈小,电容值就愈小。一般常用的金属线之间的介电材料是二氧化硅(SiO2),它的介电常数约在3.9k至4.5k之间。但是当制程尺寸不断地缩小,SiO2已经快到达它能支持的最大物理极限了。目前全球的科学家正努力寻找其它可替代的方案。
「半导体制造技术产业联盟(Sematech)」最近在San Diego开会,与会的大多数技术专家认为:他们未来的工作应该专注于改善半导体现有的制程和设计,并降低对新的「超low-k」材料的追寻和依赖。因为若想要开发低于有效值2.5k的互连(interconnect)材料,则将会遇到技术和成本的瓶颈。就技术而言上,超low-k制程是有可能被实现的;但若想利用这种互连材料与所有的设计电路相连接,其所需要付出的经济成本是非常高的。所以,由此制程所生产的芯片价格也一定是非常高的,而其最终的经济效益自然很低了。
过去数年,半导体业界全心全力都在寻找k值非常非常低的材料,但是这种作法有它的缺点。因为在45奈米的节点(node)上,超low-k的介电材料是非常脆弱的,并且会承受很大的制程冲击。当企图结合它们时所引起的种种问题,正好抵销了它们可能带来的利益。
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