前言
微機電(MEMS)曾經是高深而新鮮的技術新名詞,然而,當商業化的瓶頸逐步被克服後,近來MEMS已被廣泛應用在一些電子設備當中,而且能為產品帶來嶄新的功能。任天堂的Wii遊戲機是一個最好的例子,透過MEMS運動感測器(3軸加速度計)對動作的感測能力,將遊戲的玩法帶入全新的領域,也炒熱市場對MEMS的興趣。
何謂MEMS?它是一項結合電子與機械的微小化工程技術,也就是應用半導體製程技術來製作各種微小的精密機械元件,而且能進一步與今日的光電系統整合,以提供精微的感測或控制能力。早在Wii出現前,MEMS元件就已在多個市場中大行其道,其中最著名的是例子是在印表機的噴墨頭中,已普遍使用微流體元件;另一個成功的例子則是微面鏡數位光處理(Digital Light Processing;DLP)元件,目前被廣泛用於投影顯示器當中。
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