相較於傳統用於測量角位移的陀螺儀，今日的MEMS振動式陀螺儀感測器（Vibratory Gyro Sensor）可用來測量以度/秒為單位的角速度，又分為壓電式（Piezoelectric）和矽製程式（Silicon Type）兩種，請參考圖一。這類感測器是運用柯氏力效應（Coriolis Effect）的原理所發展出來的量測技術。簡單地說，當一個物體在旋轉的參考座標上做線性方向運動，就會產生偏離的柯氏力效應現象。
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