Micronic Laser Systems是位於瑞典的研發、製造雷射光罩圖形描繪機供應商,專事研發、製造和行銷用於光罩生產的高精準度雷射圖形描繪機,其核心技術即為微影技術(microlithography)。Micronic的產品目前主要應用於全球許多電子公司的電視和電腦顯示器,半導體電路以及半導體封裝零件的製造上。其總部位於瑞典斯德哥爾摩北部的Taby,目前在美國、日本、韓國與台灣都設有分公司。
《圖一 Micronic產品經理Axel Von Sydow》 |
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在使用Micronic產品的客戶群,已有120家廠商分部於全球各地,其中日本佔有50%為最多,其次是亞洲地區30%,美國15%與歐洲的5%。Micronic近期發表了FPS5100雷射圖形描繪機。這套系統是專為先進電子封裝、被動矩陣TN/STN LCD和其它大面積應用所提供的全新光罩量產工具。其FPS分別代表了彈性(Flexibility)、生產力(Productivity)與穩定性(Stability)之縮寫,這正是Micronic希望提供給客戶的產品優勢。
Micronic產品經理暨總監Axel Von Sydow表示,具備彈性、生產力與穩定性等優勢的FPS5100,是以大面積顯示器光罩應用的業界標準Micronic LRS圖形描繪機為基礎,可為光罩製造廠商提供非常低的持有成本、更快速的作業完成時間(turn-around time)和更簡單的生產規劃。此外,該產品擁有速度達每分鐘1萬2000mm2極高產出效率,與小至0.4μm的主寫入網格(writing grid)。FPS5100與Micronic LRS15000先進光罩系列相輔相成,可強化Micronic為成熟顯示器和先進封裝應用提供的產品線。
FPS5100主要之應用領域包括BGA’s與PCB等封裝技術、TN/STN LCD面板、CF/TFT的七代生產線光罩、OLED與被動式顯示器等顯示器應用,以及化學銑切(chemical milling)之應用等。FPS5100以高效能氬離子(Kr)雷射提高資料寫入傳輸量。以其彈性而言,三種不同的解析度可提供影像品質,而整個平台更可讓光罩的描繪面積最大可達900×1200mm2。該設備以最少的資源符合最多的應用處理狀況。該平台之自動填充系統、缺陷最佳化與可自動調整之光學儀器,均使得該平台適用於企業用戶各種相異之需求。
此外,FPS5100以3 beams的平行寫入技術,明顯降低了描繪儀器的寫入時間,並提高了寫入的資料量,在高速寫入模式下,最高可達每分鐘1萬2000mm2,比正常之寫入資料量多出兩倍。
Axel Von Sydow指出,FPS5100為光罩廠商提供了具備彈性、生產力與穩定性之雷射圖形描繪機,而有鑑於台灣已經成為全球TFT LCD面板生產重鎮,Micronic的產品非常適合用於大尺寸面板之光罩描繪應用上。預計未來隨著台灣TFT LCD面板的出貨量持續增加,Micronic在台灣的描繪機市佔率也將持續成長。