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虽然许多感测元件都是基于矽,但有些功能只能透过机械元件来执行,而且最近这些机械元件已经小型化,以满足当下汽车应用需求。使用高阶的微制造技术,可以将电子零元件、感测器和高度小型化的机械元件添加到普通矽基板中。这些微机电系统(MEMS)为高度自动化的车辆开辟了许多新感测机会,同时能够提供高可靠性,减少占用空间并节省成本。
市场上有许多不同类型的MEMS感测器,它们通常分为四个主要类别: ... ...
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