无疑地,MEMS组件正处于高速起飞的时间点。这些微型化组件为电子产品赋与了感测或致动的灵敏功能,为新兴应用开辟了一条康庄大道。今日市场上充斥着各种MEMS解决方案,并以CMOS硅晶组件为大宗,然而,若要强调高灵敏度和高稳定性,石英型传感器则是不二的选择。
「就是这么一颗小小的组件,带给许多产品无穷的想象空间。」Epson Toyocom营业统括商品企画战略部部长宫泽健把弄着手中比指甲更小的QMEMS石英感测组件,感触地指出:「我们投入十多年的研发心力,总算看到它在市场上发光发热。」
宫泽健分析指出,评估一颗传感器的好坏,可以用五个S来看,即Speed(响应物理量变化的速度)、Sensitivity(对变化响应程度的敏感度)、Selectivity(只针对特定变化响应的选择能力)、Straight Response(响应物理变化量的准确性)、Stability(保持不受外部环境影响的稳定性),而这些特性都与组件选择的材料息息相关。
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