微电机架构(Micro-Electrical Mechanical Structure;MEMS)的压力感测器的应用十分广泛。包括电器类制品、医疗以及汽车工业等方面都可以见到它的踪影。在电器类制品方面,它可以用在水位侦测(例如洗衣机或洗碗机),或是真空吸尘器的压力侦测上。在汽车工业方面,侦测歧管绝对压力(manifold absolute pressure;MAP)、或是胎压侦测(tire pressure monitoring;TPM)等等,都是常见的应用。医疗应用则包括血压监测、子宫内压监测,以及防止睡眠时呼吸中断的装置等。其它类的应用还包括空调流通侦测 (heating、ventilation、air conditioning、HVAC)、高度计及晴雨计等等。
由于压力感测器的用途甚为广泛,因此它适用的媒介以及可靠度便成了人们最关注的范畴。大多数的应用都要求感测器必须在严苛的环境里维持长时间运作(例如汽车零件就必须维持至少十年以上的寿命)。虽然这些装置应在洁净干燥的空气中运作,然而大多数实际的应用多少都会暴露在较差的环境下,例如潮湿的环境。要在压力感测器市场上占有一席之地,就必须提供绝对可靠的装置。由于MEMS的架构会直接接触量测环境,因此压力感测器对于可靠度的要求又更为严格。这对封装技术带来了更大的挑战。本文也会针对封装的部分做探讨。
装置结构
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