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奈米级IC测试挑战
 

【作者: Cadence】2005年05月05日 星期四

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过去数年,数字电路的测试方法一直随着科技演进。其中,首次的最大改变是从芯片I/O的功能性测试(以逻辑仿真测试向量为基础)转变成以扫描(scan)为基础的测试方法。当测试的复杂度增加时,以功能性测试法来检测制程的缺陷(defect)将变得越来越困难(和昂贵)。功能性测试通常具有低的「黏着性测试(stuck-at test)」之覆盖范围,并需要大量的人力来开发。需要使用「可测试性设计(Design for Test;DFT)」的方法,才能解决功能性测试的限制问题,譬如:扫描测试和「自动测试样本产生器(Automatic Test Pattern Generator;ATPG)」──这是针对「黏着性故障(stuck-at fault)」模型。这是一个普遍被接受的观念:高的黏着性测试之覆盖范围是一种确保产品质量的最低要求。必须注意的是,不是所有的公司都同时从功能性测试转换成以扫描为基础的ATPG──有些公司具有额外的资源,能够负担追加的开销,仍继续使用功能性测试法来企求高质量的产品。


除了黏着性测试以外,IDDQ测试(测量一个处于静态状态下的装置之无负载电流量)已经成为一种能确保产品质量的有效方法。大于130 nm的制程,若使用黏着性和IDDQ测试法,通常就足以维持出货前的产品质量。这是因为过去的制程缺陷,在本质上,大都是属于静态的,而静态的缺陷比较容易以黏着性测试法来发现和解决。此外,它们的无负载泄漏电流是很小的,因此IDDQ可以有效地检测出许多非静态的缺陷。


然而,许多公司已经注意到,当尺寸达到130 nm时,上述情况就改变了。在这个尺寸(或更小)中,线路密度、讯号完整性、高频的需求都使芯片大小逼近于它的极限值。曾经是静态的缺陷,现在不再是静态的了;它们已经变成延迟缺陷。在许多案例中,有缺陷的节点虽然可以得到正确的逻辑准位,但是它们的功能性时钟速率会变慢。延迟缺陷的例子包括:电阻短路、电阻断路和讯号完整性问题。延迟缺陷是比较难被检测和诊断的,这暴露了传统测试方法的极限。在130 nm和以下的制程,IDDQ测试法将无法检测出细小的延迟缺陷,这是因为平均泄电流的增加使得测量的最小单位(resolution)无法再更小。黏着性测试和IDDQ测试仍然可以用来捕抓静态的和大量的延迟缺陷,但是,它们还需要能有效检测出延迟缺陷的测试方法来辅助。
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