喷墨技术多年发展以来,多半用于个人及办公室电脑周边产品,如印表机、传真机、多功能事务机、相片印表机等;而近年来任意点列印(drop-on-demand)之喷墨头出现是主要的列印技术,特别是针对工业应用之方面,以取代部分半导体制程,并节省材料成本。本文则是以NI(National Instruments) LabVIEW 6.1作为发展系统,结合了喷墨头驱动、精密定位控制、影像处理、讯号撷取与处理等技术,发展出目前以LabVIEW开发的第一套工业用喷墨列印平台,可应用于次世代显示器高分子有机发光二极体(PLED)、液晶显示器之关键零组件彩色滤光片(color filter)、有机薄膜电晶体(OTFT)、微机电(MEMS)元件制作、生物晶片(Biochip)、印刷电路板(PCB)等新领域;并成功的利用此系统喷印出PLED、color filter、OTFT、PCB等产品;参考(图一)。
《图一 喷墨系统照片》 | 注释:本图中可以看出此系统包括:电路板、工业计算机、电气箱、加热平台与其上方的雷射位移计、镜筒、喷墨模块等。 |
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系统简介
此喷墨系统主要建构于三轴XY-θ平台16之上,如(图二),而Area CCD 10、一组喷墨头11以马达连接手动微调平台固定于机械式支撑座14,利用马达使喷墨头11在Z方向的运动以控制喷墨头与基板间距。一组喷墨头在现有硬体架构上可以配备四颗承载相同材料或不同材料之喷墨头,在基板17上方。马达15(每一轴一个)连接至移动平台以驱动基板17 X-Y-θ方向的移动。在图二中,X轴被定义为平行支撑座14,Y轴定义为垂直支撑座14,Z轴被定义为喷墨头在支撑座上之轴。 X,Y轴都装配有5相步进马达,微步进解析度为0.5μm、最大移动速度为5 in/s。而Z轴配备有两相步进马达。旋转平台(X-Y平面)可控制基板17之θ轴定位,旋转范围±3°、每一步解析度0.01°。然而,CCD13读取对位标志位置以对正基板放置的偏差,标志预先被做在基板上。元件10、11 、12 、13固定于支撑座14上都是可调整的。此设备被支撑于花岗岩(AA Grade)基座上,有四个振动隔离器来吸收振动。所有的制程的操作都由PC-based的控制器控制(如图二中之工业电脑所示)。本系统藉由平台移动,固定喷墨头与CCD,达到定点对位、随机与定位喷墨、基板观测与测量等功能。
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