2002及2003年的台湾旱象,一场反圣婴现象的灾难,仿若世纪初的地球气候乱象,不但民生用水渐渐不足,就连台湾的经济命脉-科技产业也要叫苦连天了。水,看似廉价品,当干旱来临时,更彰显出其珍贵处。尤其对业界而言,无水,制程又如何继续呢?
那么,水对科技业界有何用途?以晶圆厂为例,在所有的制程中,以炉管、蚀刻的需水量最大;由于制程中的晶圆需要大量的纯水清洗杂质,光在炉管与蚀刻等制程,所需的超纯水水量约占总水量的60%~80%。进入奈米制程后,制程需水量更是有增无减,然而用水规格高,普遍而言,目前大部分的纯化系统都不敷使用。
就目前二大需水量大的产业-半导体业与TFT-LCD研究,根据水利署资料显示,2002年半导体业一天用水量为9.3万吨,TFT-LCD业的一天用水量为6万吨;2006年时,国内半导体业用水量将成长为一天16.5万吨,而TFT-LCD业成长幅度更大,一天即达22.8万吨。
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