CTIMES - MEMS

迎接微機電系統高速成長的時代 (2005.10.20)
成立於1984年的STS專注於電漿蝕刻（plasma etch）與沉積設備的技術，該公司已經來台參加過多次Semicon展，此次也藉機推出新一代CPX叢集作業平台，可共用一顆晶片之傳輸來進行多工作業

ST全新2軸加速器在小型超薄封裝內大幅強化效能 (2005.10.11)
微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）元件製造商ST，日前擴大其雙軸加速感測器產品系列，推出兩款全新超薄型無鉛平面柵格陣列（Land Grid Array，LGA）封裝元件，尺寸僅有5 x 5 x 1.5mm

迎接微機電系統高速成長的時代 (2005.10.01)
成立於1984年的STS專注於電漿蝕刻（plasma etch）與沉積設備的技術，該公司已經來台參加過多次Semicon展，此次也藉機推出新一代CPX叢集作業平台，可共用一顆晶片之傳輸來進行多工作業

淺談車用感測器技術與發展 (2005.09.05)
感測器在車用電子當中扮演相當重要的角色，在各個獨立功能的電子系統中，負責蒐集資料，提供處裡器運算並做出適當的判斷。本文就將針對車用感測器的技術與發展趨勢廣泛的敘述

STS晶圓深層蝕刻機贏得Bosch訂單 (2005.08.24)
使用電漿製程技術之MEMS(微機電系統)與相關市場之成長蒸蒸日上。電漿製程技術廠商Surface Technology Systems plc(STS)宣佈，該公司新一代Pegasus晶圓深層蝕刻機(DRIE)已爭取到德國自動化MEMS設備製造大廠博世(Robert Bosch)之訂單

飛思卡爾3D加速度感應器鎖定消費者市場 (2005.05.13)
飛思卡爾特別為可攜式消費性電子產品開發出3D、低加速度(low-g)、微型機電系統(MEMS)為主的MMA7260Q。根據Gartner Dataquest的估計，可攜式消費性電子產品的市場在2005年的所需的半導體零件銷售額將達到480億美元

品佳推廣OKI可攜式電子產品用三軸MEMS加速表 (2005.05.03)
亞太專業半導體通路商-品佳，近日積極推廣OKI可攜式電子產品用的三軸MEMS加速表-ML895x系列產品。ML8951為一款在單一封裝中，結合了採用MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術之感測器與介面晶片的三軸線性加速表，適用可攜式電子產品，如手機、PDA等產品

ADI賣出第二億個MEMS慣性感應器 (2005.04.21)
美商亞德諾(Analog Devices Inc.)宣佈已銷售出第二億個基於MEMS的慣性感應器。ADI公司能夠達成此里程碑主要是因為市場廣為接受其 iMEMS動作信號處理技術(Motion Signal Processing)，以及持續不斷地投資在MEMS產品研發上的緣故

日月光將舉辦半導體封裝與測試科技論壇 (2004.09.03)
月光集團將於9月3日於台灣新竹舉行為期一天的第五屆半導體封裝與測試科技論壇, 將邀請業界的半導體專業人士，共同探討半導體後段的最新趨勢、技術發展與解決方案

MEMS將在未來逐漸取代半導體產業成為主流 (2003.11.19)
據外電報導，日本Olympus前董事長、現任該公司最高顧問下山敏郎日前表示，由於各類電子、機械產品微小化趨勢，微機械（Micromachine）與微機電（MEMS）產業未來10年將逐漸取代半導體產業成為主流，為此Olympus自2003年起已著手建立MEMS元件／模組／製程能力

ST與MobiDiag攜手 (2003.11.14)
ST近日與MobiDiag公司簽署了一項合作協議，將針對傳染病的基因檢測共同研發一套完整的系統，該系統將採用矽的微機電（MEMS）生物晶片技術。這套系統將使臨床診斷實驗室以更快速、更便宜、更人性化的方式進入基因技術世代，為當前的傳染病檢測技術帶來突破性的進展

STS深蝕刻設備獲精材科技採用 (2003.11.05)
矽晶深蝕刻製程設備業者Surface Technology Systems（STS）宣佈，該公司已取得台灣封裝業者精材科技訂單；精材科技表示，該公司為了爭取需求迅速增加的光學感測器市場，將配合現有的STS蝕刻機，安裝 STS 進階矽晶蝕刻（ASE）系統

摩托羅拉半導體事業重整已告一段落 (2003.10.27)
日本經濟新聞報導，摩托羅拉近來除計畫將半導體事業部門（Semiconductor Products Sector；SPS）自集團獨立，亦宣佈出售天津8吋MOS-17予中國大陸晶圓業者中芯國際，而該公司在亞太區其他據點如日本仙台、新加坡IC設計中心等的未來動向，受到業界高度重視

在非零和遊戲的半導體封測市場站穩龍頭 (2003.10.16)
在本年度的半導體設備暨材料展（Semicon Taiwan 2003）中，除了有來自全球各地半導體設備與材料業者的最新產品與技術之展出，主辦單位亦規劃了一場以晶圓與IC封裝測試技術、市場發展為主題的半導體產業尖端論壇

SOI製程讓摩爾定律不失效 (2003.10.05)
近兩年台灣晶圓雙雄的表現越來越出色，包括台灣的亞太地區也逐漸成為全球般導體製造中心，所以Soitec相當看好台灣半導體市場在SOI製程上的發展潛力，Michael Wolf認為，儘管目前台灣半導體製造業者採用SOI製程的比重仍低

在非零合遊戲的半導體封測市場站穩龍頭 (2003.10.05)
本年度的半導體設備暨材料展（Semicon Taiwan 2003）中，除了有來自全球各地半導體設備與材料業者的最新產品與技術之展出，主辦單位亦規劃了一場以晶圓與IC封裝測試技術、市場發展為主題的半導體產業尖端論壇

半導體設備暨材料展廠商巡禮 (2003.10.05)
在9月15～17日於台北舉辦的2003年台灣半導體設備暨材料展，主題是半導體製造設備與材料，在經歷前兩年的低迷景氣與SARS的風暴後，半導體產業確定邁上復甦道路，另外在技術製程的進展方面

工研院成立微機電系統技術使用者聯盟 (2003.01.22)
近日工研院電子所宣佈成立「微機電系統技術使用者聯盟」，主要目的為國內業者製程發展所需的研發環境，以及建立微機電資訊交流機制，提昇我國微機電技術之國際競爭力

上海新進半導體　六吋晶圓已進入量產 (2002.09.12)
上海新進半導體日前表示，該公司採用Bipolar製程的六吋晶圓生產線已於月底開始量產，並於近日通過可靠性測試。上海新進是大陸首家採用2微米Bipolar製程的晶圓廠，其六吋晶圓生產線的平均良率超過95％，並已通過1000小時的可靠性測試

SLM推出可調式阻隔濾光器 (2002.09.09)
柏士半導體(Cypress Semiconductor)旗下的SLM(Silicon Light Machines)公司9日推出一套可調式阻隔濾光器(RBF)，為各種高密度分波多工器(DWDM)光學網路提供動態波長管理功能。SLM的RBF SLM-3000可應用於各種可調式光學add/drop多工器(ROADM)中，能阻隔所有波長，為80組彼此相距50或100 GHz的頻道提供完整的動態與控制機制