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解决黄光技术成本挑战 默克提出DSA代替微影材料 (2019.09.19) 微影(lithography)扮演半导体制程中最重要的流程,通常占全体制程40%~50%的生产时间。随着电晶体大小持续微缩,微影技术需制作的最小线宽(pitch level)也被为缩至极短波长才能制成的程度,从采用波长365nm的UV光,到波长248nm及193nm的深紫外线光(DUV),甚至是波长10~14nm的极紫外线光(EUV),微影技术正面临前所未有的挑战 |
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KLA-Tencor:7奈米以下制程需有效降低显影成型误差 (2017.09.14) 7纳米制程节点将是半导体厂推进摩尔定律(Moore’s Law)的下一重要关卡。半导体进入7纳米节点後,制程将面临更严峻的挑战, 不仅要克服晶圆刻蚀方面、热、静电放电和电磁干扰等物理效应,同时要让信号通过狭小的线也需要更大的电力,这让晶片设计,检查和测试更难 |
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Brewer Science:先进封装可解决现阶段制程微缩挑战 (2017.09.13) 今日的消费性电子产品、网路、高效能运算 (HPC) 和汽车应用皆仰赖封装为小型尺寸的半导体装置,其提供更多效能与功能,同时产热更少且操作时更省电。透过摩尔定律推动前端流程开发,领先的代工和积体装置制造商 (IDM) 持续不断挑战装置大小的极限,从 7 奈米迈向 3 奈米 |
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提高记忆深度及完整讯号捕获率的示波器整合方案 (2008.03.18) 几乎所有电子产业包括计算机、通讯、半导体、航天国防、汽车与无线产业中的电子设计与测试研发人员,都在持续开发复杂的硬件设计方案,细微的讯号和偶发事件益发层出不穷,因此硬件设计工程师需要分析除错功能强大的示波器,做为硬件设计测试除错的主要量测依据 |