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製備衍射編碼的微顆粒採用奈米壓印光刻技術-製備衍射編碼的微顆粒採用奈米壓印光刻技術 (2011.08.22)
製備衍射編碼的微顆粒採用奈米壓印光刻技術
微影技術的未來 浸潤式vs.奈米壓印式 (2004.02.17)
2003年12月,半導體微影技術,正式進入另一個技術領域。在此之前,我還以為微影技術仍會照著ITRS(國際半導體技術藍圖)的原先藍圖進展,混然未察覺的是,在這個微寒的冬季,科技有又有重大的進展:「浸潤式微影技術」(Immersion Lithography)隆重登場
微影技術的未來 浸潤式vs.奈米壓印式 (2004.02.05)
2003年的12月已成為半導體產業重大技術的轉戾點,不論是浸潤式或者奈米壓印式微影技術在未來都將成為市場主流。


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