電漿鍍膜技術已廣泛應用於半導體產業、平面顯示器產業、太陽電池產業以及生醫科技產業等薄膜沉積製程,為21世紀先進製造的重要環節技術,更是現代科技產業研發的重心。
此本研討會內容為太陽電池的抗反射層、微晶矽、透明導電等薄膜沉積製程與設備技術之實務課程,提供大面積鍍膜與高密度電漿源的關鍵核心技術成果分享,同時包含多項前瞻設備技術與創新專利發表以及邀請業界專家精闢解析矽薄膜太陽電池技術發展近況與趨勢,有利於太陽光電鍍膜製程設備國產化的發展,以及太陽電池產業Turn Key整合技術的掌握。