美國Cymer公司-一家半導體生產用的深紫外線(DUV)光源主要供應商與德國卡爾•蔡司SMT公司-一家專門生產晶片製造及製程控制用的光學系統的主要供應商今天宣佈合組TCZ公司,這一家合資公司,致力於開發創新的生產設備針對前瞻的平面顯示器(FPD)市場。這兩家公司基於它們在雷射與光學元件方面廣泛的專門技術,已開發了一種生產工具來改進薄膜電晶體(TFT)顯示器的低溫多矽(LTPS)製程。
主動式液晶顯示器與邏輯電路整合或稱作系統整合面板(SOP)及有機發光二極體顯示器(OLED)的大規模的量產導入有很大的程度因為缺乏低成本的低溫多晶矽製程而有所延宕。TCZ公司的細光束結晶雷射回火工具將填補這種空隙。TCZ公司運營總部將坐落在聖地牙哥,將會由前Cymer公司前瞻技術與應用部執行副總經理布萊恩•克里尼(Brian Klene)來擔任其執行長。克里尼向由Cymer和卡爾•蔡司SMT公司高階主管所組成的TCZ公司董事會報告。Cymer公司擁有合資企業60%的股份,卡爾•蔡司SMT公司擁有合資企業40%的股份。
“現有的平面顯示器(FPD)生產制程將滿足不了產業對於做出高良率又高性能的顯示器但又能有效降低成本的市場要求”,TCZ公司總裁與執行長布萊恩•克里尼說。“我們發覺藉由我們在技術上、客戶服務及支援架構的優勢所帶來的可靠、高良率、高性能的制程解決方案可以讓顯示器廠商認識到多晶矽的好處。我們的解決方案意味著低溫多矽(LTPS)對平面顯示器(FPD)廠商來說不再是成本高而無法採用的製程,而且客戶也會在數量日益增加的更明亮、解析度更高的顯示器產品中受益。”