美国Advanced Energy公司为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案供应商利用一种新型转换平台和两种独家专属萤光配方,拓展萤光光纤测温仪(FluorOptic Thermometry;FOT)解决方案中的Luxtron系列产品。LuxtronM-1000转换器(带Rubilux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现高精准温度量测,解决先进半导体蚀刻和沉积制程中的一系列难题。
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新型Luxtron FluorOptic感测平台(带RubiLux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source:Advanced Energy) |
Luxtron M-1000配备新型光源和经过改进的低噪音光探测装置,具备双通道能力,低精度误差(+/-0.2。C),稳定性高出0.05。C,并且,具有操作宽范围(-200。C至450。C)。该转换器经过优化,具有两种萤光配方,可适应全系列温度范围。
「对於在创建半导体装置(比如:3D NAND)中使用的先进高纵横比(HAR)蚀刻而言,晶圆温度是其中一项非常重要的工艺叁数,」美国Advanced Energy公司精密传感和控制部门战略行销??总裁Jeff Hebb表示:「为优化HAR蚀刻制程,先进的半导体制造商日益转向更广的操作温度(比如从低温吸盘到加热吸盘)。通过在更大温度范围内实现精准、可重复的量测,M-1000转换器和新型萤光配方能够胜任HAR制程量产所要求的的全系列温度范围量测。」
Advanced Energy的Luxtron FOT感测系统融合萤光涂层光纤探针和高性能转换器,该转换器内建先进光源、光测器专属软体演算法和低噪音放大电路系统。在强电磁领域(包括等离子蚀刻和沉积、MRI系统和变压器)内的各项制程中,由於Luxtron FOT系统所进行的温度量测基於其光纤传感,因此,比传统电子感测器更具备高精度性。