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Advanced Energy新型感测平台拓展高精度温测系列
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨报导】   2022年07月15日 星期五

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美国Advanced Energy公司为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案供应商利用一种新型转换平台和两种独家专属萤光配方,拓展萤光光纤测温仪(FluorOptic Thermometry;FOT)解决方案中的Luxtron系列产品。LuxtronM-1000转换器(带Rubilux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现高精准温度量测,解决先进半导体蚀刻和沉积制程中的一系列难题。

新型Luxtron FluorOptic感测平台(带RubiLux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source:Advanced Energy)
新型Luxtron FluorOptic感测平台(带RubiLux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source:Advanced Energy)

Luxtron M-1000配备新型光源和经过改进的低噪音光探测装置,具备双通道能力,低精度误差(+/-0.2。C),稳定性高出0.05。C,并且,具有操作宽范围(-200。C至450。C)。该转换器经过优化,具有两种萤光配方,可适应全系列温度范围。

「对於在创建半导体装置(比如:3D NAND)中使用的先进高纵横比(HAR)蚀刻而言,晶圆温度是其中一项非常重要的工艺叁数,」美国Advanced Energy公司精密传感和控制部门战略行销??总裁Jeff Hebb表示:「为优化HAR蚀刻制程,先进的半导体制造商日益转向更广的操作温度(比如从低温吸盘到加热吸盘)。通过在更大温度范围内实现精准、可重复的量测,M-1000转换器和新型萤光配方能够胜任HAR制程量产所要求的的全系列温度范围量测。」

Advanced Energy的Luxtron FOT感测系统融合萤光涂层光纤探针和高性能转换器,该转换器内建先进光源、光测器专属软体演算法和低噪音放大电路系统。在强电磁领域(包括等离子蚀刻和沉积、MRI系统和变压器)内的各项制程中,由於Luxtron FOT系统所进行的温度量测基於其光纤传感,因此,比传统电子感测器更具备高精度性。

關鍵字: 感测平台  Advanced Energy 
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