账号:
密码:
最新动态
 
产业快讯
CTIMES/SmartAuto / 產品 /
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨报导】   2022年07月15日 星期五

浏览人次:【1616】

美国Advanced Energy公司为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案供应商利用一种新型转换平台和两种独家专属萤光配方,拓展萤光光纤测温仪(FluorOptic Thermometry;FOT)解决方案中的Luxtron系列产品。LuxtronM-1000转换器(带Rubilux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现高精准温度量测,解决先进半导体蚀刻和沉积制程中的一系列难题。

新型Luxtron FluorOptic感测平台(带RubiLux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source:Advanced Energy)
新型Luxtron FluorOptic感测平台(带RubiLux和VioLux萤光配方)可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source:Advanced Energy)

Luxtron M-1000配备新型光源和经过改进的低噪音光探测装置,具备双通道能力,低精度误差(+/-0.2。C),稳定性高出0.05。C,并且,具有操作宽范围(-200。C至450。C)。该转换器经过优化,具有两种萤光配方,可适应全系列温度范围。

「对於在创建半导体装置(比如:3D NAND)中使用的先进高纵横比(HAR)蚀刻而言,晶圆温度是其中一项非常重要的工艺叁数,」美国Advanced Energy公司精密传感和控制部门战略行销??总裁Jeff Hebb表示:「为优化HAR蚀刻制程,先进的半导体制造商日益转向更广的操作温度(比如从低温吸盘到加热吸盘)。通过在更大温度范围内实现精准、可重复的量测,M-1000转换器和新型萤光配方能够胜任HAR制程量产所要求的的全系列温度范围量测。」

Advanced Energy的Luxtron FOT感测系统融合萤光涂层光纤探针和高性能转换器,该转换器内建先进光源、光测器专属软体演算法和低噪音放大电路系统。在强电磁领域(包括等离子蚀刻和沉积、MRI系统和变压器)内的各项制程中,由於Luxtron FOT系统所进行的温度量测基於其光纤传感,因此,比传统电子感测器更具备高精度性。

關鍵字: 感测平台  Advanced Energy 
相关产品
Advanced Energy为埃米时代打造电浆功率控制技术支援
Advanced Energy SLB系列双认证电源扩大低功率开放式机架应用范围
Advanced Energy功率测量仪可提升高精度射频功率系统准确性
Advanced Energy推出全新10kW脉冲直流电源供应器
Advanced Energy的48V开放式机架电源可为资料中心节省能耗
  相关新闻
» 意法半导体公布第三季财报 工业市场持续疲软影响销售预期
» 慧荣获ISO 26262 ASIL B Ready与ASPICE CL2认证 提供车用级安全储存方案
» 攸泰科技跃上2024 APSCC国际舞台 宣扬台湾科技竞争力
» 东芝推出高额定无电阻步进马达驱动器TB67S559FTG
» 艾迈斯欧司朗全新UV-C LED提升UV-C消毒效率
  相关文章
» 光通讯成长态势明确 讯号完整性一测定江山
» 分众显示与其控制技术
» 新一代Microchip MCU韧体开发套件 : MCC Melody简介
» 最隹化大量低复杂度PCB测试的生产效率策略
» 公共显示技术迈向新变革

刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3  v3.20.1.HK8B8D4PEYASTACUK4
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw