全球量测解决方案供应商---Tektronix推出了可自订且完全整合的Keithley 4200A-SCS参数分析仪，不仅可为新手使用者或偶发性使用者降低特性分析的复杂性、简化测试设定，并提供清晰又精确的结果等方式，加速取得对半导体装置、材料和制程的深入了解。

Tektronix整合模组化Keithley 4200 A-SCS配备全新的使用者介面、嵌入式量测专长和IV/CV切换式模组。

延续Keithley 4200-SCS参数分析仪的成功，全新的4200A-SCS仪器还具备了现代化的工业设计、全新的图形化使用者介面，以及一系列实用的自学工具，如嵌入仪器的专家教学影片，不仅可将测试设定时间降低达50%，并提供更轻松、更直观的操作方式。可用性对于如多个使用者共享仪器资源的半导体装置研究、装置失效分析和可靠性测试等应用尤为重要。

Tektronix的Keithley产品系列总经理Mike Flaherty表示：「在从事商业用途前，参数分析对于新半导体装置和材料特性分析或测试装置可靠性等程序而言是至关重要的步骤。然而，研究人员可能只需要偶尔执行这些测试，这也使得他们难以成为使用参数测试仪器方面的专家。这就是为什么我们费了九牛二虎之力要使4200A-SCS能易于设定且易于学习如何操作，即使使用者之前毫无使用参数分析仪的经验也不成问题。」

Tektronix深知各种量测会为半导体研究增加了额外的复杂性，所以亦一并推出了吉时利4200A-CVIV 4通道IV/CV切换式模组。此模组与4200A-SCS主机搭配使用可在SMU (IV) 和电容- 电压(CV) 量测之间提供即时的切换功能，允许使用者将CV量测移至待测元件的任何端子，而不需提起探针或调整接线。

4200A-SCS配备了全新的宽萤幕高画质显示器，提供更多的萤幕画面空间可进行互动式测试和试验。此显示器搭配全新的图形化使用者介面，不仅带来使用者所需要的直观操作模式，同时也具备了专业使用者所需要的先进功能。全新的使用者介面内建了一系列的专家影片，为使用者撷取来自世界各地的Keithley应用工程师的知识和智慧。这些影片可降低使用者的学习曲线，并协助使用者在意外的结果出现时进行疑难排解，同时对所看到的结果充满信心。

4200A-SCS是一款完全整合的模组化参数分析仪，可执行材料、半导体装置和制程的电气特性分析程序。 4200A-SCS包含适合IV特性分析的电源量测设备、可用于交流阻抗量测的电容- 电压模组，以及可执行脉冲IV、波形撷取和暂态IV量测的超快脉冲量测设备，这些功能研究人员或工程师提供了材料研究、半导体装置设计、开发和生产所需的各种关键参数。

Keithley 4200 A-SCS 参数分析仪和 4200 A-VIS 切换式模组现已供货。 (编辑部陈复霞整理)