新力展示其在九州熊本技術中心(熊本TEC)的CMOS感測器工廠最新生產線。該生產線是在2007年春季開始使用12吋晶圓量產CMOS感測器的2號廠房。由於CMOS感測器、CCD等影像感測元件直接關係到新力的產品性能,而且能夠在製程上有別於競爭對手,因此被定位於強化生產設備的重點領域。新力表示,計畫將在2007年至2009年,持續投資此廠房約600億日元(約4.9億美元)。
新力計劃提高高速讀取的CMOS感測器生產比重,並以其優點對抗CCD感測器之數位相機產品。為此,該公司今後的設備投資將主要針對CMOS感測器。但是,CCD生產線與CMOS感測器生產線約有8成的生產設備可以共用,因此在建造工廠時,新力把各生產線專用設備的使用量控制在最小限度,以因應市場改變產品的生產。
另外,2001年開始投入量產的1號廠房原本是CCD生產線。為了使1號廠房和2號廠房生產線的設備使用效率更高,因此新力讓兩廠房能夠互通與共用,並在2號廠房的樓層中,讓各種裝置的擺放位置最佳化。
2號廠房的特點是在前段生產線採用自動化生產管理系統,可以實現晶圓搬運及設備操作的自動化、檢查程序的自動化、設備異常及製程變更的自動檢測,及靈活的生產計劃制定等。這套名為設備工程系統(Equipment Engineering System;EES)的生產管理系統能夠使用感測器,對以前樣品抽樣檢測中檢測過的高頻及直流電源、板溫度、真空壓力的誤差即時監控。另外,2號廠房還能夠利用高級元件控制(Advanced Device Control;ADC)來控制裝置內部加熱器的開關和晶圓向裝置的搬入/搬出。利用這些自動管理系統,可以事先察覺重大問題及製程處理變動導致的良品率下降,並制定對策。