Zygo Corporation發佈LIFTS（LCD浮法玻璃干涉測量輸送系統）商標的新型平面測量系統。這一新產品為在大型LCD面板上實現精密測量和檢驗提供了全新的玻璃處理解決方案。

ZYGO設計的LIFTS系統滿足了當前和未來G8+以及更大尺寸玻璃的LCD技術發展要求。新平臺解決了尺寸大於2000毫米的玻璃在晶圓環境下的處理難題。這些難題自身表現為靜電和振動形式，從而導致中期核對總和測量過程中出現問題，而中期核對總和測量對於保持晶圓產量是至關重要的。

ZYGO受控空氣輸送機和精密氣動卡盤將玻璃從測量工具中移進移出，使玻璃一直保持在氣墊上。新發佈系統提供了更快的工具處理時間以及優秀的測量性能。此外，在VC-B晶圓環境下工具還能保持規定的性能，這對降低晶圓廠造價是至關重要的。

Zygo顯示方案事業部高級副總裁兼總經理Brian Monti說："LIFTS的引入是ZYGO的一大技術進步。LIFTS平臺不僅為下一代LCD晶圓廠提供了具有高成本效率的解決方案，同時還開創了新型核對總和測量方案，可進一步提高晶圓產量並實現生產力目標。我們很高興市場對ZYGO新型產品平臺十分認可。"