国立中山大学微奈米分析技术研发中心教授周明奇研究团队,开发更佳质量的LED基板材料,总成本最多可降低40%,将带动雷射二极管、发光二极管商机。
周明奇表示,「氮化镓(GaN)」与「氧化锌(ZnO)」半导体材料,在光电领域扮演非常重要的角色,尤其在LED发光二极管的应用上面;传统是利用气相沉积的方式将其生长于蓝宝石基板,以磊晶技术成长在蓝宝石基板上的氮化镓材料,是属于六方晶型之晶体结构,蓝宝石基板亦为六方晶体,但两者之晶格常数大小不同。磊晶成长于蓝宝石基板上之氮化镓,其晶格常数比蓝宝石约小 16%。不仅造成材料的缺陷密度过高,且降低LED发光效率。
微奈米分析技术研究中心开发出新LED基板材料,蓝宝石Al2O3、铝酸锂LiAlO2 2吋晶圆,与用来生长LED和雷射二极管用之奈米组件GaN 和ZnO,使中山大学奈米半导体研究日益蓬勃,并吸引其他研究型大学、欧洲最佳光电半导体研发机构、Paul Drude Institute、加州大学Santa Barbara分校等主动要求与中山大学奈米科技研发中心合作。
中山大学微奈米分析技术研发中心应用「铝酸锂」与GaN和ZnO晶格失配率1.4%的特性,希望能成为蓝宝石之外的另一个选择。该中心目前已能制造出质量极佳的直径2英吋LED基板,且已开发出适当的抛光方法,表面能达到原子级的平坦度。
周明奇指出,铝酸锂的原料价格、熔点均较蓝宝石低,硬度也比蓝宝石软,后续的切割、研磨与抛光等加工服务较易,总成本降低30%~40%,实际运用在LED上总成本也较低,材料质量的进展将带动商机。