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無客戶支持 應用材料將獨往65奈米發展
 

【CTIMES/SmartAuto 謝馥芸 報導】   2002年10月30日 星期三

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景氣長期低迷,使得12吋半導體設備市場不如以往看好,甚至有每下預況的情形出現。近日半導體設備供應商應用材料即對外坦承,12吋設備市場需求量不如1998年來得佳,幸而應用材料公司營運得佳,故以單打獨鬥的方式,在沒有合作夥伴的情況下,繼續往65奈米技術發展。

由於目前的晶圓廠已漸漸往90奈米的進程前進,身為設備商,應用材料本身的技術不能落後於客戶,否則難以滿足客戶的需求,因此該公司一直以來,不斷的投入大量的資金、資源去開發新技術。然而景氣長期不振,已讓晶圓廠面臨壓力,尤其許多晶圓廠好不容易才轉入130~100奈米製程,若再往下一個製程領域,勢必遭逢更多的技術瓶頸。應用材料董事長James Morgan即表示,今年晶圓代工廠的高製程及12吋技術規劃,已明顯落後於過去,因此應用材料今年在沒有客戶的支援下,獨立研發下一世代製程。

據了解,目前半導體130奈米製程已有無法突破的瓶頸,若再往100奈米以下發展,將遇到更多的物理極限,比如銅製程方面,採用雙嵌刻銅(Dual-damascene)互連結構的130奈米製程,量產時普遍無法良好的可靠性,使得良率無法有效提升;除此之外,晶片通過檢測後,經過長時間使用,產品的故障率明顯提升。

關鍵字: 12吋  90奈米  65奈米  130奈米  100奈米  應用材料 
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