新力展示其在九州岛熊本技术中心(熊本TEC)的CMOS传感器工厂最新生产线。该生产线是在2007年春季开始使用12吋晶圆量产CMOS传感器的2号厂房。由于CMOS传感器、CCD等影像感测组件直接关系到新力的产品性能,而且能够在制程上有别于竞争对手,因此被定位于强化生产设备的重点领域。新力表示,计划将在2007年至2009年,持续投资此厂房约600亿日元(约4.9亿美元)。
新力计划提高高速读取的CMOS传感器生产比重,并以其优点对抗CCD传感器之数字相机产品。为此,该公司今后的设备投资将主要针对CMOS传感器。但是,CCD生产线与CMOS传感器生产线约有8成的生产设备可以共享,因此在建造工厂时,新力把各生产线专用设备的使用量控制在最小限度,以因应市场改变产品的生产。
另外,2001年开始投入量产的1号厂房原本是CCD生产线。为了使1号厂房和2号厂房生产线的设备使用效率更高,因此新力让两厂房能够互通与共享,并在2号厂房的楼层中,让各种装置的摆放位置优化。
2号厂房的特点是在前段生产线采用自动化生产管理系统,可以实现晶圆搬运及设备操作的自动化、检查程序的自动化、设备异常及制程变更的自动检测,及灵活的生产计划制定等。这套名为设备工程系统(Equipment Engineering System;EES)的生产管理系统能够使用传感器,对以前样品抽样检测中检测过的高频及直流电源、板温度、真空压力的误差实时监控。另外,2号厂房还能够利用高级组件控制(Advanced Device Control;ADC)来控制装置内部加热器的开关和晶圆向装置的搬入/搬出。利用这些自动管理系统,可以事先察觉重大问题及制程处理变动导致的良品率下降,并制定对策。