为了打破过去日商在低温多晶硅(LTPS)TFT面板制程设备的寡占情况,美国Cymer与德国卡尔.蔡司SMT宣布将合资成立TCZ(股本2500万美元),锁定LTPS制程中的雷射回火结晶制程设备市场,预计明年第二季可以开始出货,2008年达成损益平衡目标。
Cymer是目前全球深紫外光微影系统的光源主要供货商,德国的卡尔.蔡司SMT则是制程控制光学系统的知名厂商,两家公司决定合资成立TCZ,针对LTPS制程中的雷射回火设备进行开发。
据了解,目前主要的LTPS前段制程设备以日本的JSW与住友重工为最大,两家公司各占有八成与一成多的市占率,为一明显的寡占设备市场。
TCZ执行长Brian Klene指出,目前第四世代的LTPS回火设备一台报价约600万美元,每年的市场需求约在十至十五台左右,估计到2010年时,每年的需求量将达到3、40台。