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邁向1nm世代的前、中、後段製程技術進展
邏輯元件製程技術藍圖概覽(下)

【作者: 愛美科】   2020年12月08日 星期二

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為了推動晶片市場邁向1nm世代,本文上篇介紹了前段、中段與後段製程的主流技術及其面臨的挑戰,並進一步探討這三大製程模組中更具創新的其他技術;下篇則將延伸至更進階的製程技術開發,集結愛美科不同邏輯元件研究團隊的見解。


創新製程技術

後段製程:混合金屬佈線、半鑲嵌製程
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