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SOI製程讓摩爾定律不失效
專訪Soitec資深行銷業務副總裁Michael Wolf

【作者: 廖專崇】   2003年10月05日 星期日

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在半導體製程進入奈米等級之後,我們一方面要求半導體的線徑不斷縮小,一方面又要不斷提昇IC上電子的遷移率,以提昇晶片的運算能力,但是以目前的製程技術看來,似乎已經慢慢走到極限,而發展SOI(絕緣層上覆矽)製程IC生產用薄膜基板供應商的Soitec,對於可以提昇晶片效能與降低耗電率的SOI製程,有把握可以將摩爾定律在奈米時代繼續延續下去。


SOI技術其實在許多年前就已經被人提出,而由IBM成功將其商業化,Soitec在SOI製程薄膜基板的市佔率超過80%,Soitec資深行銷業務副總裁Michael Wolf表示,利用SOI製程,可以讓晶片效能提昇30%,並降低2~3倍的耗電率,該公司發展的Smart Cut技術甚至已經逐漸成為全球SOI製程的業界標準,目前Soitec生產8吋晶圓的一廠產能年出貨量可達到80萬片,因應12吋晶圓的發展趨勢,明年將進入量產的二廠完全量產後,年產量更可以提昇到200萬片12吋晶圓。


Michael Wolf進一步強調,利用Soitec的Smat Cut技術,該公司提供適合不同應用的產品,包括:薄膜與超薄膜型SOI產品,支援高速、低電壓、低功耗需求產品,如微處理器與無線通訊晶片;厚膜型SOI產品,需求高電壓、高溫環境的光電元件與MEMS/MOEMS元件;SOQ(Silicon On Quartz)晶圓,是細薄的單晶型薄膜,應用在需要高電阻的透明基板。
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