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解析微機電系統技術之應用與發展現況
電子產業邁向奈米世界之開路前鋒-

【作者: 楊燕枝】   2003年04月05日 星期六

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微機電與奈米技術均為現今科技發展主要潮流之一,由於均具有超微小結構之特性,一般人經常將此混為一談。事實上,若由製造尺度而言,兩者間差距僅在於科技產品的關鍵尺寸,微機電尺度在100μm至1μm之間,約為0.1mm至0.001mm,與人類頭髮平均直徑接近,其約在70μm左右;而奈米技術關鍵尺度則在100nm至1nm之間,約為0.1μm至0.001μm間,已是蛋白質大小的等級,因此在製作技術上可說是差異甚大。



奈米技術研究領域為「介觀(meso)尺度世界」,所發展的科技產品之關鍵尺寸或形狀精度通常位於100nm~1nm範圍。奈米(nanometer;nm)是一計量單位,定義為「十億分之一公尺」,一個奈米長度約為十個氫原子並排在一起的寬度。奈米科技早於1997年即被美國時代(Time)雜誌評選為21世紀十大科技之一;利用奈米技術不僅可突破現有半導體製程技術的瓶頸,開發出更細微的機器元件,且由於奈米尺度下物質特性的變化,可創造出許多神奇的新結構/新材料。美國國家科學基金會NSF曾預估,至2015年全球奈米市值應可達1兆美元,顯示奈米技術之應用將為本世紀最重要之產業發展趨勢。
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