低温多晶硅(Low Temperature Poly-Si,LTPS)是承接非晶硅之后的LCD关键性技术,在实用化之后;陆续投入数字相机、摄影机、PDA和Mini Notebook 等。其相对于非晶硅的最大特色是移动度(mobility)高,终极可实现System on Glass的目标,在充份发挥量产的效应之后,亦具有制造成本的优势,业界投入LTPS已逐渐升温(表一),这当中不只是LCD而已,还包括有志于OLED的业者。在技术方面亦迈入第二代,将再提高LTPS的实用落伍。新代系指具高孔位比和驱动IC内藏的技术,第二代是指系统内藏的技术。(图一)