高电压功率 MOSFET 一般分为两大类: 超接面(SJ : Super Juction)MOSFET 和平面型 MOSFET。由于其电荷平衡结构和更小的输入栅极电荷(Qg),SJ MOSFET具有比平面型 MOSFET 更低的导通电阻(RDS(on))和更快的开关性能。 产品的这两个参数(Qg*RDS(on))被作为组件的质量因子(FOM)。 另外,SJ MOSFET 的体二极管的反向恢复性能优于平面型 MOSFET。
然而,SJ MOSFET需要一个更加复杂和昂贵的磊晶制程,并且由于多磊晶层结构使得深寿命控制较困难,改善其体二极管性能受限。另一方面,平面型 MOSFET 可以只由一个单一的磊晶层制作而成,所以较容易实现深寿命控制。 因此,能够大幅度提高平面型 MOSFET二极管的反向恢复性能,从而防止 MOSFET 失效。
最近,快捷半导体开发了UniFETTM II MOSFET 技术,透过优化活跃Cell结构提高了磊晶层的崩溃电压(厚度及电阻率)。 因此,在同一额定崩溃电压下,新 MOSFET 技术的FOM 优于传统 MOSFET 技术——其Qg*RDS(on) 是传统平面型 MOSFET 的一半左右。 另外,新技术还采用了寿命控制制程,从而可以提高dv/dt强度和体二极管的反向恢复性能。
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