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解析CMOS-MEMS技術發展與應用現況（下）
半導體與微機電的科技結晶

【作者： 鄭英周,戴慶良,張培仁】   2003年08月05日 星期二
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CMOS-MEMS設計實務簡介

在上一期的文章中，已經將CMOS-MEMS技術的發展歷程與應用現況做了簡明扼要的介紹，以下將列舉幾個利用標準積體電路製程所製作之微機電裝置以供讀者參考：


射頻微機電（RF MEMS）關鍵零組件之研製
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